Entwicklung von Mikroheizplatten als innovatives Hilfsmittel für eine schnellere und günstigere Herstellung dünner Beschichtungen

Heute kann pro Beschichtungsprozess nur eine Schicht hergestellt werden. Individuell ansteuerbare Mikroheizplatten ermöglichen es, mehrere Schichten gleichzeitig herzustellen. Beschichtungen können so kostengünstiger produziert werden.

Fiche signalétique

  • Département HESB | Technique et informatique
  • Pôle de recherche Technique de production
  • Champ de recherche Technologies appliquées laser, photonique et de surface
  • Durée 01.01.2008 - 31.07.2010
  • Direction du projet Patrick Schwaller
  • Équipe du projet Christian Nussbaum
  • Mots-clés Dünnschichttechnologie, Reinraum, Mikroheizplatten-Array, Mikrostrukturierung

Contexte initial

Für die Herstellung der Mikroheizplatten (MHP) werden zwei unterschiedliche Mikrostrukturierungsverfahren angewendet, um den vielfältigen Anforderungen der Schichthersteller gerecht zu werden. Einerseits werden MHP auf Siliziumbasis im Reinraum hergestellt, andererseits werden Metall- und Oxidschichten mit Laserlicht gezielt entfernt, um eine Struktierung der Oberfläche zu erhalten. Zur Designoptimierung kommen zudem numerische Simulationen zum Einsatz.

But

Herstellung von individuell ansteuerbaren Mikroheizplatten (MHP) zur Dünnschichtentwicklung. MHP-Matrizen sind kommerziell erhältlich, jedoch für mehrmaligen Gebrauch vorgesehen. Im Projekt werden deshalb günstige Einweg-MHP entwickelt.

Compétences clés

Prozessierung und Charakterisierung von dünnen Schichten

Résultat

Mittels laserfabrizierten Masken wurden erste Hot-Plate-Strukturen (Al & Ag, Schichten um 200 nm) hergestellt. In Rahmen einer Bachelorarbeit wurde das Temperaturverhalten dieser Hot-Plates charkterisiert.

Perspectives

In einem nächsten Schritt sollen nun verschiedene Konzepte zur Kontaktierung der einzelnen Hot-Plate-Strukturen evaluiert und ausgetestet werden. Zudem ist ein KTI Projekt zur weiteren Entwicklung mit der Empa in Thun geplant