Laser-induzierte Prozesse zur Mikrostruktierung von transparenten Materialien und zur Depositen von metallischen Strukturen auf transparenten Materialien

In Mikrooptik und Mikrofluidik wächst der Bedarf an mikrostrukturierten transparenten Oberflächen die allenfalls mit leitenden Strukturen versehen sind. Im Projekt werden solche Prozesse mit industrietauglichen Lasersystemen untersucht.

Fiche signalétique

  • Département HESB | Technique et informatique
  • Pôle de recherche Technique de production
  • Champ de recherche Technologies appliquées laser, photonique et de surface
  • Durée 01.02.2012 - 31.12.2012
  • Direction du projet Patrick Schwaller
  • Équipe du projet Beat Neuenschwander
    Johann Michler
    Patrick Schwaller
    Sarah Zehnder
  • Partenaires - établissements de recherche, y c. BFH empa
    HESB | Technique et informatique
  • Partenaires - secteur public armasuisse
  • Mots-clés Laser-induced backside wet etching, Laser-induced chemical liquid phase deposition

Contexte initial

In einem Vorgängerprojekt konnte gezeigt werden, dass mittels Nanosekunden-Laserpulsen und wässeriger CuSO4-Lösungen als Absorber, transparente Oberflächen sehr definiert mikrostrukturiert werden können. Im vorliegenden Projekt soll untersucht werden inwiefern eine kombinierte Strukturierung und eine nachfolgenden Metalldeposition mit dem gleichen Aufbau realisiert werden kann. Anwendungsgebiete der Technologie sind Mikrosensoren.

But

Mittels Laser-induzierten Prozessen soll die Mikrostrukturierung von transparenten Oberflächen und die Depositen von Metallen auf transparenten Oberflächen untersucht werden.

Résultat

In einem ersten Schritt konnten erfolgreich Laser-induzierte Cu-Leiterbahnen auf Glas erzeugt werden. Die Leitfähigkeit der Strukturen ist in der gleichen Grössenordnung wie Cu-bulk und bleibt an Luft stabil.