Thin Films and Surfaces

Wir beschäftigen uns mit der Modifikation von Oberflächen im Nanometerbereich durch Beschichtungen und mit der Herstellung von polymerbasierten Mikrofluidik-Systemen.

Unsere Forschungsgruppe

Wir entwickeln dünne Oberflächen (einige Nanometer (1nm = 10-9m) bis einige 100nm Schichtdicke) mittels Physical Vapour Deposition (PVD, Elektronenstrahlverdampfen und Sputtern), Spin-Coating und Dip-Coating Verfahren. Lithography- und Ätzprozesse erlauben uns, Oberflächen im Mikrometerbereich zu strukturieren. Für diese Arbeiten steht uns ein Reinraum der Klasse ISO 6 zur Verfügung.

Leistungsangebot

Unser Know-How und unsere Infrastruktur stehen externen Partnern im Rahmen von studentischen Arbeiten, Forschungsmandaten oder gemeinsamen drittmittelfinanzierten Projekten zur Verfügung. Bitte kontaktieren Sie uns, wenn Sie detaillierte Auskünfte benötigen.

Kompetenzen

Wir sind ein kompetenter Partner in den folgenden Bereichen: 

Entwickeln und Herstellen von Dünnschichten 

Verfahren:

  • Elektronenstrahlverdampfen
  • Sputtern
  • Spin- und Dip-Coating

Anwendungsgebiete:

  • Metallische Schichten
  • Dielektrische Schichten für optische Anwendungen
  • Polymerbeschichtungen
  • Perovskitschichten für Solarzellen
  • Elektroden für biomedizinische Anwendungen

Prozesse zur Mikrostrukturierung

Verfahren:

  • UV-Lithographie für 4-Zoll Wafer
  • Nasschemische Ätzverfahren
  • Herstellen von Polymerstrukturen mit mehreren hundert Mikrometern Dicke

Anwendungsgebiete:

  • Planare Mikroelektroden
  • Polymerbasierte Mikrofluidiksysteme
  • Strukturieren von leitenden Polymeren

Infrastruktur

Reinraum Klasse ISO 6

Weissraum:

  • Elektronenstrahlverdampfen zur Dünnschichtherstellung
  • Sputteranlage zur Dünnschichtherstellung
  • Diffuisionsofen zur thermischen Oxidation von Si
  • Plasmaanlage (N2, O2, Ar) zur Reinigung und Modifikation von Oberflächen
  • Analytik: Mechanischer Taster, Reflektometer
  • Ausrüstung zum Durchführen von Mikrofluidik-Experimenten

Gelbraum:

  • Spin-Coater
  • Mask Aligner für UV Lithographie
  • Nasswerkbank für Ätprozesse

Ausserhalb des Reinraums:

  • Dip-Coating Ausrüstung
  • Raster-Kraft-Mikroskop
  • Ellipsometer
  • Glimmentladungsspektroskopie GDOES
  • FT-IR mit ATR

Kontakt

Kontaktieren Sie uns oder treffen Sie unsere Fachexpertinnen und Fachexperten an diversen Veranstaltungen im direkten Gespräch. Aus einer Zusammenarbeit resultiert ein Gewinn für alle Beteiligten: für Ihr Unternehmen, die Gesellschaft sowie die Fachhochschule.